通过电磁射线发射进行原位衬底温度监控的方法和装置

摘要

本发明披露了一种在等离子体系统中确定衬底温度的方法。该方法包括提供包含一组材料的衬底，其中衬底配置为吸收包括第一组电磁频率的电磁辐射，以将第一组电磁频率转换为一组热振动，并传送第二组电磁频率。该方法也包括：在衬底支承结构上设置衬底，其中衬底支承结构包括卡台；使蚀刻剂气体混合物流进等离子体处理系统的等离子体反应堆；以及冲击蚀刻剂气体混合物以产生等离子体，其中等离子体包括第一组电磁频率。该方法进一步：包括用等离子体处理衬底，由此产生第二组电磁频率；计算第二组电磁频率的幅度；以及将该幅度转换为温度值。

主权项

1.在等离子体处理系统中确定衬底温度的方法，包括：提供包括一组材料的衬底，其中所述衬底用于吸收包括第一组电磁频率的电磁辐射，以将所述第一组电磁频率转换为一组热震动，并传送第二组电磁频率；将所述衬底设置在衬底支承结构上，其中所述衬底支承结构包括卡台；使蚀刻气体混合物进入所述等离子体处理系统的等离子反应堆；撞击所述蚀刻气体混合物，以产生等离子体，其中所述等离子体包括所述第一组电磁频率；用所述等离子体处理所述衬底，从而产生所述第二组电磁频率；计算所述第二组电磁频率的幅度；以及将所述幅度转换为温度值。