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发明名称 Test & assembly equipment driving by air pressure in semiconductor fabricating process
摘要
申请公布号 KR100498434(B1) 申请公布日期 2005.09.26
申请号 KR19980035715 申请日期 1998.08.31
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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