| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE SENSING COORDINATES OF WAFER AND DEVICE SENSING COORDINATES OF WAFER THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050093178(A) |
申请公布日期 |
2005.09.23 |
| 申请号 |
KR20040018429 |
申请日期 |
2004.03.18 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, JONG JUN |
| 分类号 |
B65G1/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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