HARDENING APPARATUS FOR PHOTO-RESIST,申请号KR20040018414-传众专利搜索

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发明名称	HARDENING APPARATUS FOR PHOTO-RESIST
摘要
申请公布号	KR20050093164(A)	申请公布日期	2005.09.23
申请号	KR20040018414	申请日期	2004.03.18
申请人	MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD.	发明人	SEONG, IK JOONG
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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