Verfahren zur Herstellung einer sub-lithographischen Durchgangsleitung,申请号DE2003601295-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer sub-lithographischen Durchgangsleitung
摘要
申请公布号	DE60301295(D1)	申请公布日期	2005.09.22
申请号	DE2003601295	申请日期	2003.04.22
申请人	HEWLETT-PACKARD COMPANY, PALO ALTO	发明人	LEE, HEON;ANTHONY, THOMAS C.;TRAN, LUNG T.
分类号	H01L21/768;G03C5/00;G03F7/038;G03F7/095;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/461;H01L21/4763;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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