发明名称 THIN FILM OF A SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR FORMING THE THIN FILM AND METHOD FOR FORMING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE METHOD FOR FORMING THE THIN FILM
摘要
申请公布号 KR20050092554(A) 申请公布日期 2005.09.22
申请号 KR20040017645 申请日期 2004.03.16
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 CHA, HAN SEOB
分类号 H01L21/8234;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092;H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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