发明名称 BASE RESIN HAVING CYCLODODECYL PEDANT GROUP FOR CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESIST AND CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESIST COMPOSITION INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050092593(A) 申请公布日期 2005.09.22
申请号 KR20040017693 申请日期 2004.03.16
申请人 DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG WOO;KIM, JONG YONG;LEE, JAE WOO;KIM, JAE HYUN
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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