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发明名称
摘要
申请公布号	JP2005528802(A)	申请公布日期	2005.09.22
申请号	JP20040510034	申请日期	2003.05.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/76;H01L21/336;H01L21/8238;H01L21/84;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/823	主分类号	H01L21/76
代理机构		代理人
主权项
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