| 主权项 |
1.一种使用外差方法做成的电光映像量测系统,包括一电光探针,用来量测待测元件;一振幅调变雷射系统,系产生探测光源,并透过极化器后传递到电光探针上;二射频讯号产生器,其中一射频讯号产生器供应固定振幅与频率为fDUT的弦式电压讯号给振幅调变雷射系统,另一射频讯号产生器也供应一个频率为fDUT的弦式电压讯号给待测元件;弦式电压讯号供给待测元件之前,讯号的增益可被功率放大器放大;一分析器,用来将电光探针所探测的讯号分析以获得所需之两道电光讯号;二光检测器,接收由分析器所得具有差频的频率或冲击的频率之电光讯号;一锁相放大器,由检测器的电光讯号得到检测结果。2.如申请专利范围第1项所述之一种使用外差方法做成的电光映像量测系统,其中电光探针所得到的讯号透过一相位补偿器传递至分析器,该相位补偿器是调整光的偏压点,可获得最佳的和最线性的电光讯号。3.如申请专利范围第1项所述之一种使用外差方法做成的电光映像量测系统,其中射频讯号产生器产生讯号另经由一滤波器提供参考讯号给锁相放大器。4.如申请专利范围第1项所述之一种使用外差方法做成的电光映像量测系统,其中一射频讯号产生器所产生之弦式电压讯号在供给待测元件之前,讯号的增益经由一功率放大器放大。图式简单说明:图一为本发明的系统架构图。 |
