具冷却结构之玻璃基板洗净装置

摘要

本创作之洗净装置包含一机台本体、一上盖部与一传动部，该传动部置放于该机台本体之上，以输送玻璃基板经过该上盖部之下方，该上盖部具有一夹具用以夹持复数产生UV光之灯源，本创作在该夹具上设有一中空之管道，据以输入一冷却水源之冷水于该中空之管道，以冷却该灯源，以增加该灯源之使用寿命。

主权项

1.一种具冷却结构之玻璃基板洗净装置,用于玻璃 基板之洗净作业,其具有一机台本体、一上盖部与 一传动部,该上盖部枢设于该机台本体,且该上盖 部具有一夹具,该夹具夹持有UV光之复数灯源,该传 动部设置于该机台本体之上,该传动部利用一动力 设备之驱动用以输送玻璃基板经过该上盖部之下 方,其特征在于: 该夹具之内部设有一管道,该管道与一冷却水源相 接,并形成循环管路,以藉由该冷却水源之冷水将 该复数灯源所产生之热量带走。 2.如申请专利范围第1项所述之具冷却结构之玻璃 基板洗净装置,其中该夹具设有复数之固定片,该 复数之固定片套合该复数灯源,并螺所在该管道上 。 3.如申请专利范围第1项所述之具冷却结构之玻璃 基板洗净装置,其中该上盖部之内部,设有一冷却 水管路。 4.如申请专利范围第3项所述之具冷却结构之玻璃 基板洗净装置,其中该冷却水管路系为连续S型状 。 图式简单说明: 第1图,系习知洗净装置之结构图。 第2图,系习知洗净装置上盖部之结构图。 第3图,系本创作之洗净装置组合外观图。 第4图,系本创作之夹具结构示意图。 第5图,系本创作之上盖部剖视示意图。