多自由度精密光学测量载物平台

摘要

本实用新型涉及一种多自由度精密光学测量载物平台。它由一个水平方向平移机构上安置一个垂直方向滑移机构，而垂直方向滑移机构上再安装一个旋转工作台构成，在所述的旋转工作台上安装上一个双向可调倾斜度的工件安置台。本实用新型提高测量工件的可调自由度，提高测量精度，适用于大面积重量重的工件的测量。

主权项

1.一种多自由度精密光学测量载物平台，由一个水平方向平移机构(1)上安置一个垂直方向滑移机构(2)，而垂直方向滑移机构上再安装一个旋转工作台(4)构成，其特征在于在所述的旋转工作台(4)上安装一个双向可调倾斜度的工件安置台(5)。