发明名称 | 一种低温蒸发、冷却生产超净高纯试剂的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种低温蒸发、冷却生产超净高纯试剂的方法。包括如下步骤:将原料与惰性载气分别送入加热蒸发器,加热到原料的沸点以下2~30℃,在低温下原料被蒸发,与惰性载气,发生对流传质,原料蒸汽与惰性载气一起进入冷凝器,原料蒸汽被冷凝获得产品。采用本发明的方法,加热、冷凝过程中气相温度波动小,控制方便,单体设备的产量高,产品的纯度可达到SEMI C8级以上,易于工业化实施。 | ||
申请公布号 | CN1669616A | 申请公布日期 | 2005.09.21 |
申请号 | CN200410093473.7 | 申请日期 | 2004.12.22 |
申请人 | 上海氯碱化工股份有限公司;华东理工大学 | 发明人 | 陈江;徐志刚;吴勇强;倪锐利;陈青如;范巧 |
分类号 | B01D3/00 | 主分类号 | B01D3/00 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 罗大忱 |
主权项 | 1.一种低温蒸发、冷却生产超净高纯试剂的方法,其特征在于,包括如下步骤:将原料与惰性载气分别送入加热蒸发器,加热到原料的沸点以下2~30℃,在低温下原料被蒸发,原料蒸汽与惰性载气一起进入冷凝器,原料蒸汽被冷凝获得产品。 | ||
地址 | 200241上海市龙吴路4747号 |