具有包括带金属电极网的反射镜的共振腔的MSM型光电检测器件

摘要

本发明涉及一种MSM型光电检测器件，该器件设计为检测入射光，并且包括叠加在载体(1)上的反射装置(2)，以形成法布里珀罗型共振腔的第一反射镜，不吸收光的材料层(3)，由吸收入射光的半导体材料制成的有源层(4)，以及收集已检测信号的偏振电极网(5)。该电极网排列在有源层上，并由周期小于入射光波长的均匀间隔隔开的平行导电条构成，电极网形成共振腔的第二反射镜，该第二反射镜的光学特性由所述导电条的几何尺寸确定。确定将第一反射镜和第二反射镜隔开的距离，以获得这两个反射镜之间入射光的法布里珀罗型共振。

主权项

1.一种MSM型光电检测器件，该器件设计为检测入射光，并且包括叠加在载体(1，51，81)的第一面上的反射装置(2，52，82)，以形成法布里珀罗型共振腔的第一反射镜，不吸收所述光的材料层(3，53，83)，由吸收入射光的半导体材料制成的有源层(4，54，84)，以及收集已检测信号的偏振电极网，该电极网(5，62)排列在该有源层上，该电极网由周期小于该入射光波长的以均匀间隔隔开的平行导电条构成，该电极网(5，62)形成该共振腔的第二反射镜，该第二反射镜的光学特性由所述导电条的几何尺寸确定，确定将该第一反射镜和该第二反射镜隔开的距离，以获得这两个反射镜之间入射光的法布里珀罗型共振。