微孔抛光垫

摘要

本发明提供用于化学－机械抛光的包括多孔发泡体的抛光垫及其制造方法。一个具体实施方式中，该多孔发泡体平均孔径为50微米或以下，其中75％或以上的孔隙具有平均孔径20微米或以下的孔径。在一个具体实施方式中，多孔发泡体的平均孔径20微米或以下。又另一个具体实施方式中，该多孔发泡体具有多－模态孔径分布。该制造方法包括(a)使聚合物树脂与超临界气体结合产生单相溶液，及(b)从该单相溶液形成抛光垫，其中通过使气体经历高温及高压产生超临界气体。

主权项

1.一种供化学-机械抛光的抛光垫，包括具有平均孔径为50微米或以下的多孔发泡体，其中75％或以上的孔隙具有20微米或以下的平均孔径。