蒸发器输送安瓿

摘要

本发明公开一种半导体制造过程中所用的蒸发器输送系统(10)，其包括用于容纳可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器(22)。每个垂直堆叠的容器包括延伸进入每个堆叠容器(22)内部(27)中的多个通风突起物(30)，从而提供用于使载气在相邻的垂直堆叠容器(22)之间通过的通道。

主权项

1.一种用于蒸发和输送源材料的蒸气输送系统，其包括：a)安瓿，其包括安瓿底部、侧壁和可拆卸的顶部，以形成内部安瓿室；b)与所述安瓿连通的气体进口和气体出口；c)位于所述内部安瓿室中的至少一个源材料容器，其中所述容器包括容器底部和侧壁，以形成容器腔；及d)至少位于容器底部上的多个通风突起物，以提供通过其中的通道，其中所述通风突起物延伸进入所述容器腔。