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发明名称
PHASE SHIFT MASK
摘要
申请公布号
KR20050092214(A)
申请公布日期
2005.09.21
申请号
KR20040017326
申请日期
2004.03.15
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
NAM, BYUNG HO
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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