发明名称 OPTICAL METHOD OF EXAMINING RELIEFS ON A STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP1576338(A2) 申请公布日期 2005.09.21
申请号 EP20030810008 申请日期 2003.12.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 HAZART, JEROME
分类号 G01B11/06;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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