| 发明名称 |
SENSING SYSTEM FOR DETECTING UP-DOWN MOVING OF ELECTROSTATIC CHUCK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050092271(A) |
申请公布日期 |
2005.09.21 |
| 申请号 |
KR20040017408 |
申请日期 |
2004.03.15 |
| 申请人 |
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, JAE WOOK |
| 分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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