光掩膜及修补缺陷的方法

摘要

公开了一种光掩模和用于修补该光掩模上的缺陷的方法。优选，该光掩模包括基板、缓冲层和不透射层，该缓冲层设置在该基板和该不透射层之间。该方法包括在该不透射层中形成图案。如果在图案化的不透射层中识别出一个或多个缺陷，则该缓冲层保护基板在修补图案化的不透射层中的缺陷时不受损伤。

主权项

1.一种用于修补光掩模上的缺陷的方法，包括：在和该光掩模相关的基板的一个表面上形成缓冲层；在该缓冲层上形成不透射层；在具有设置在基板和不透射层之间的缓冲层的不透射层中形成图案；识别图案化的不透射层中的一个或多个缺陷；以及修补该图案化的不透射层中的至少一个缺陷，同时该缓冲层保护基板在该修补步骤时不受损伤。