电气信号连接装置、及使用此装置之探针组装体及探测器装置

摘要

对于具有高密度端子的电子装置、或半导体晶粒，可一次全部同时地进行检测测试。因此，做为电气信号连接装置，有接触设于被检查电气机能组件之电气连接用端子、进行电气连接的垂直型探针，以及支持前述垂直型探针之树脂薄膜，前述垂直型探针，在树脂薄膜之面上，沿着该薄膜面的方向，具有弹性变形可能，将与前述垂直型探针之一端，接触被检查电气机能组件的端子，将前述垂直型探针的另一端，接触电气机能检查装置的端子，在被检查电气机能组件与电气机能检查装置之间，收发信号。

主权项

1.一种电气信号连接装置，其特征在于：具有与设于被检查电气机能组件之电气连接用端子接触，进行电气连接之垂直型探针，以及支持着前述垂直型探针之树脂薄膜，前述垂直型探针在树脂薄膜的面上，沿着该薄膜面的方向，以具有弹性变形的方式设置，将前述垂直型探针的一端，与被检查电气机能组件的端子接触，将前述垂直型探针的另一端，与电气机能检查装置的端子接触，在被检查电气机能组件及电气机能检查装置之间，收发信号。