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发明名称 Substrate processing apparatus
摘要
申请公布号 EP1061557(A3) 申请公布日期 2005.09.21
申请号 EP20000112620 申请日期 2000.06.14
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 SHINOZAKI, HIROYUKI
分类号 H01L21/30;C23C16/458;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68;B05C11/08 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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