Robot blade for semiconductor processing equipment,申请号EP20000112086-传众专利搜索

发明名称	Robot blade for semiconductor processing equipment
摘要
申请公布号	EP1063683(A3)	申请公布日期	2005.09.21
申请号	EP20000112086	申请日期	2000.06.05
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	FREERKS, FREDERICK W.;ISHIKAWA, TETSUYA;WANG, TIMOTHY Y.;HUDGENS, JEFFREY C.;SALEK, MOSHEN;LEONG, TIM;DIFRANCESCO, ALFRED J.;CIULIK, JAMES R.
分类号	B65G49/07;B25J15/08;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;B25J9/10	主分类号	B65G49/07
代理机构		代理人
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