弹性表面波装置及其形成方法

摘要

本发明的目的在于提供一种弹性表面波装置，可以提高弹性表面波装置的特性。该装置具有压电基片(1)和设置在此压电基片表面的梳子状转换器(2)，对设置在弹性表面波装置背面的，用于防止不要波的凹槽(5)，将相邻凹槽(5)的间隔设成，从一端(7)向另一端(8)逐渐地变小的状态。根据此结构，由于凹槽(5)的延伸方向与弹性表面波的传播方向所成的夹角，因凹槽而各异，而能够使不要波相对各凹槽的反射条件不同，从而可以提高弹性表面波装置的特性。

主权项

1.一种弹性表面波装置，具有压电基片和设置在所述压电基片表面的梳子状转换器，其特征在于，在所述压电基片的背面与弹性表面波的传播方向交叉的方向上，排列地设有多个凹槽，其中，相邻凹槽的间隔被设成从一端向另一端逐渐地变小。