光敏树脂组合物及其用途

摘要

一种光敏树脂组合物，当通过光掩模曝光然后显影时，该组合物能够以高分辨率形成包括厚度为20微米或更厚的聚酰亚胺膜的图案；以及该组合物的用途，特别是形成包括聚酰亚胺膜的图案的方法。该光敏树脂组合物包括(a)聚酰胺酸；(b)特定的1，4－二氢吡啶衍生物，和(c)特定的酰亚胺丙烯酸酯化合物。

主权项

1.一种光敏树脂组合物，其包括：(a)聚酰胺酸；(b)由通式(I)表示的1，4-二氢吡啶衍生物：式中，R₁和R₂各自独立地表示氢原子或具有1～4个碳原子的烷基；R₃和R₄各自独立地表示各自具有1～4个碳原子的烷基或烷氧基；并且R₅表示氢原子、具有1～4个碳原子的烷基、或烷基部分具有1～4个碳原子的羧基烷基，和(c)由通式(II)表示的酰亚胺丙烯酸酯化合物：式中，R₁表示氢原子或甲基，并且R表示具有2个或多个碳原子的烃基。