| 发明名称 |
AQUEOUS PHOSPHORIC ACID COMPOSITIONS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1576072(A2) |
申请公布日期 |
2005.09.21 |
| 申请号 |
EP20030777786 |
申请日期 |
2003.10.21 |
| 申请人 |
EKC TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
DAVIOT, JEROME;REID, CHRISTOPHER;HOLMES, DOUGLAS |
| 分类号 |
C09K13/00;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/32;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):C09K13/00;C11D3/06;C11D1/62 |
主分类号 |
C09K13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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