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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER VACUUM HANDLING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20050092181(A) 申请公布日期 2005.09.21
申请号 KR20040017274 申请日期 2004.03.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YUN, SUK WON
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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