发明名称 |
场效应晶体管及其制造方法 |
摘要 |
一种场效应晶体管,包括具有第一部分(18)和第二部分(20)的漏区(12),所述第二部分比所述第一部分更加轻掺杂。沟道区(14)邻近所述第二部分,漏电极(24)位于漏区上。栅电极(16)位于沟道区上。屏蔽结构(30)位于漏区上并具有距半导体衬底(10)第一距离(33)的第一部分(32)和距半导体衬底第二距离(35)的第二部分(34),所述第二距离大于所述第一距离。在特定的实施方式中,FET包括其中第一和第二部分物理上独立的屏蔽结构。这些屏蔽部分的位置可以在FET内变化,各部分的电位可以独立控制。 |
申请公布号 |
CN1672263A |
申请公布日期 |
2005.09.21 |
申请号 |
CN03817910.5 |
申请日期 |
2003.06.16 |
申请人 |
飞思卡尔半导体公司 |
发明人 |
赫尔穆特·布雷克 |
分类号 |
H01L29/78;H01L29/41;H01L29/08 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王永刚 |
主权项 |
1.一种场效应晶体管,包含:半导体衬底;位于半导体衬底中并具有第一部分和第二部分的漏区,所述第二部分比所述第一部分更加轻掺杂;位于半导体衬底中并邻近漏区的第二部分的沟道区;位于沟道区上的栅电极;位于漏区第一部分上的漏电极;位于漏区第二部分上的导电屏蔽结构,该导电屏蔽结构具有距半导体衬底第一距离的第一部分,并具有距半导体衬底第二距离的第二部分,所述第二距离大于所述第一距离。 |
地址 |
美国得克萨斯 |