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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR METROLOGICAL PROCESS CONTROL IMPLEMENTING COMPLIMENTARY SENSORS
摘要
申请公布号 EP1576336(A1) 申请公布日期 2005.09.21
申请号 EP20030814176 申请日期 2003.12.17
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 GOTKIS, YEHIEL;KISTLER, RODNEY;OWCZARZ, ALEKSANDER;HEMKER, DAVID;BRIGHT, NICOLAS, J.
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):G01B7/06;G01R33/12 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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