| 发明名称 | 双频激光干涉仪 | ||
| 摘要 | 一种双频激光干涉仪，包括一双频激光器，在该激光器的输出光路上设置一偏振分光镜，该偏振分光镜的分光面与激光器的输出光路成45°，在该偏振分光镜反射光方向放置一固定角锥棱镜，透射方向是一移动角锥棱镜，在该偏振分光镜的输出光方向、双频激光器的同侧还有一探测器，其特征是在所述的偏振分光镜和探测器设有一反射镜，在双频激光器和偏振分光镜之间的光路上成45°放置一光束转换器和反射镜。本实用新型在相同测试条件下，与现有双频激光干涉仪相比，测试精度提高了一倍。该实用新型的测试方法具有简便、经济、精度高等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN2727698Y | 申请公布日期 | 2005.09.21 |
| 申请号 | CN200420090576.3 | 申请日期 | 2004.09.28 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 程兆谷;高海军 |
| 分类号 | G01B9/02;G01B11/02 | 主分类号 | G01B9/02 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种双频激光干涉仪，包括一双频激光器(4)，在该激光器(4)的输出光路上设置一偏振分光镜(2)，该偏振分光镜(2)的分光面与激光器(4)的输出光路成45°，在该偏振分光镜(2)反射光方向放置一固定角锥棱镜(5)，透射方向是一移动角锥棱镜(1)，在该偏振分光镜(2)的输出光方向、双频激光器(4)的同侧还有一探测器(3)，其特征是在所述的偏振分光镜(2)和探测器(3)之间设有一反射镜(6)，在双频激光器(4)和偏振分光镜(2)之间的光路上成45°放置一光束转换器(8)和反射镜(7)。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||