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发明名称
Displacement sensor and method of fabrication
摘要
申请公布号
EP1306651(B1)
申请公布日期
2005.09.21
申请号
EP20020013877
申请日期
2002.07.01
申请人
BALLUFF GMBH
发明人
KURZ, MARTIN;ECKEL, GERD;HOLDER, ROLAND;EBERLE, HANSJUERGEN;SPRINGER, ROLAND;HOFFMANN, MICHAEL;ROTH, WALTER
分类号
G01D5/48;G01D11/24;G01D11/30;(IPC1-7):G01D5/48
主分类号
G01D5/48
代理机构
代理人
主权项
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