| 摘要 |
此创作之目的是以附加(包括经由旋布或喷洒方式)一层光阻于非球面微透镜阵列表面以改进其表面粗度，而提升其光学应用性能；以期能兼顾微透镜形状精度与表面粗度，而确实掌握非球面微透镜阵列的关键制造技术。自1994年德国研究人员就提出以以能量束(energy beam)进行拖曳式(dragging)加工方式制作微透镜阵列。其中能量束包括电子束、离子束与雷射光等。证明以能量束(energy beam)进行拖曳式加工具有三次元形状微加工的特点。但是微透镜表面因雷射脉冲(pulse)加工痕迹而使三次元形状的表面较不平滑，而降低光学应用性能。以更密集雷射脉冲或较低雷射能量加工仍无法有效改善。所以后续实用价质受此限制而无法突破。本创作以突破性作法涂加一层光阻(附加加工；而非移除加工)以改进非球面微透镜表面粗度；提高实际应用层面。其中包括经由旋布(spin coating)或喷洒(spray)光阻方式，使光阻附加于微透镜阵列表面的立体涂布技术；以获得涂布均匀且光阻涂布薄膜厚度适当的微透镜阵列为本发明重点。 |
