摘要 |
本发明为有关一种光罩定位装置,尤指使用于光罩盒内之光罩定位装置,该光罩盒系设置有座体,并于座体表面二侧设置有固定装置,而各固定装置为凸设有可供光罩置放之抵持件,且抵持件之一侧为设置有复数限位片,而座体上方为覆盖有盖体,且盖体内为具有可容置光罩之容置空间,而容置空间之底面二侧为分别设置有定位装置,且容置空间之一侧设置有抵持装置,俾使光罩可依定位装置及抵持装置而定位于容置空间内,以利当打开盖体后该光罩之位置为可让机械手臂顺利取出,而不会与座体二侧所设置之固定装置产生摩擦,而导致光罩受损或是因摩擦而从机械手臂掉落损坏。 |