摘要 |
于水平载置基板(2)并且可堆积复数个之基板搬送用托盘中,上述基板搬送用托盘(1)于堆积复数个时,含有配置于上述基板搬送用托盘(1)之上方之与基板搬送用托盘(1)接触之上方接触部,以及配置于下方之与基板搬送用托盘(1)接触之下方接触部,上述上方接触部及上述下方接触部之形状以下述方式形成:将其他之基板搬送用托盘载置于上述基板搬送用托盘之上方时,于上述其他之基板搬送用托盘之重心配置于上述基板搬送用托盘之重心之垂直上方之方向移动上述其他之基板搬送用托盘(1)。可实现并无因弯曲而被装载物彼此接触而破损之顾虑,并且可稳定堆积之基板搬送用托盘。 |