用于大型基材制程系统之负载锁定室

摘要

兹提供一种用以传送大面积基材之负载锁定室及方法。于一实施例中，一适于传送大面积基材之负载锁定室包括数个垂直堆叠之单一基材传送室。该垂直堆叠之单一基材传送室之配置相较于知双槽式双基材设计方式，具有缩减尺寸及提高产量之优点。此外，在降低抽气及排气速率下也可增加产量，亦可减少因微粒及凝结物而造成基材污染的可能性。