研磨用组合物及研磨方法

摘要

本发明系关于一种研磨组成物，其包括：二氧化矽；一硷性化合物；以及水。二氧化矽例如为胶态矽、燻矽或沉淀型矽。硷性化合物例如为碳酸铵、碳酸钾、碳酸钠、碳酸氢铵、碳酸氢钾、碳酸氢钠、磷酸铵、磷酸钾、磷酸钠、磷酸氢铵、磷酸氢钾或磷酸氢钠。上述研磨组成物适用于研磨玻璃基板之应用。