可调式准直器与具有此种可调式准直器之溅镀设备

摘要

一种可调式准直器与具有此种可调式准直器之溅镀设备，其可调式准直器系由可调式本体、第一准直元件以及第二准直元件所构成。可调式本体具有一内部空间，且其有上部、下部以及上部与下部之间的调整器，这个调整器可调整上部与下部之相对间距。第一准直元件是固设于上部之内部空间中，俾使第一准直元件随上部移动，而第二准直元件系位于第一准直器下方并固设于下部之内部空间中，俾使第二准直元件随上部移动。当可调式准直器应用于溅镀设备时，能藉由调整上部与下部的相对间距来控制入射的溅镀材料分子角度。