| 摘要 |
一种用于半导体处理系统中之光学对准系统。该光学对准系统包含一晶圆夹头，其具有一对准部分整合至该晶圆夹头之上表面。此外，一光束形成系统配置于该晶圆夹头上方，该光束形成系统可发射光学讯号至该对准部分上。并且包含一侦测器，其可侦测发射至该对准部分上之光学讯号的振幅。在一实施态样中，该对准部分可为一反射对准部分，其可将一部份之该光学讯号反射至该侦测器。在另一实施态样中，该对准部分可为一透射对准部分，其可使一部份之该光学讯号穿透该晶圆夹头而到达该侦测器。在此实施态样中，该侦测器可配置于该晶圆夹头下方。 |
