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发明名称
于制造设备中校正预测、决定最佳回复趋势及产生产出日之方法
摘要
本发明提出一种于制造设备中利用最佳动态回复趋势参数以校正预测之方法。首先决定多个产出日,然后决定用以预测产出日的每一回复趋势参数的总准确性,再于产生的回复趋势参数准确性图形上进行回归分析,最后利用相关的回复趋势准确性曲线以决定最佳回复趋势参数。
申请公布号
TW200530888
申请公布日期
2005.09.16
申请号
TW094106025
申请日期
2005.03.01
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
赵震霖;李俊毅;林朝贤
分类号
G06F17/60
主分类号
G06F17/60
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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