驻极体电容器

摘要

本发明系旨在形成驻极体电容器中之空气隙(air gap)时防止电极之间产生黏附(sticking)，并据此高精度的控制空气隙之厚度。该驻极体电容器包括：具有由上部电极构成的导电膜118之固定膜110，具有下部电极104及由驻极体膜构成的氧化矽膜105之振动膜112，以及具有在固定膜110与振动膜112之间形成且具有空气隙109之氧化矽膜108。固定膜110及振动膜112分别露出于空气隙109的部分由氮化矽膜106及114所构成。