具有可促进浆液利用之沟槽的研磨垫

摘要

一种化学机械研磨垫(200)，其包括一具有研磨区域(208)且含多个至少部份地延伸至研磨区域中之沟槽(212)的研磨层(204)。在研磨时，该沟槽包含利于研磨之浆液(236)。各沟槽包括多个混合结构(220)，其设计为造成位于沟槽下部(240)之浆液与位于沟槽上部(244)之浆液之混合。