从一基材移除含矽残留物的溶剂及方法

摘要

在此公开一种用于从基材顶部和背部的至少一部分和／或沉积装置除去含矽残留物的方法。另一方面，本发明提供了一种用于除去残留物的方法，其包括：用去除溶剂处理涂覆基材和／或沉积装置。