由化学蒸汽沈积形成之物品及其等之制造方法

摘要

本发明系关于使用化学蒸汽沈积制造环之改良方法。本发明使用圆柱形管作为沈积基材，将沈积于圆柱形管内表面上或圆柱形模芯外表面上或两者上之所得材料切片或切割成所希望之环尺寸及形状。所得环具有大致上平行于最终物品定向之晶体生长。本发明亦系关于经氮掺杂之碳化矽材料，及关于具有大致上平行于结构平面且彼此平行之晶粒生长轴及具有相对于晶粒之晶粒生长轴大体上无规则之旋转定向的碳化矽结构。