用于提供及运送高纯度及超高纯度二氧化碳的系统

摘要

本发明揭露一种提供与运送高或超高纯度二氧化碳产品流到制造设备内的至少一个生产工具的系统及其方法。在一实施例中，该系统包含如下次系统：二氧化碳源、二氧化碳运送系统、及包含至少一个生产工具的使用点。