VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER T-FÖRMIGEN ELEKTRODE,申请号AT20020001998T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER T-FÖRMIGEN ELEKTRODE
摘要
申请公布号	AT304220(T)	申请公布日期	2005.09.15
申请号	AT20020001998T	申请日期	2002.02.05
申请人	MAILE, BERND E., DR.	发明人	MAILE, BERND E., DR.
分类号	H01L21/027;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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