III-V Halbleiter und Verfahren zur seiner Herstellung,申请号DE20031093690T-传众专利搜索

发明名称	III-V Halbleiter und Verfahren zur seiner Herstellung
摘要
申请公布号	DE10393690(T5)	申请公布日期	2005.09.15
申请号	DE20031093690T	申请日期	2003.11.21
申请人	SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD.	发明人	SHIMIZU, MASAYA;MORISHIMA, SHINICHI;SASAKI, MAKOTO
分类号	C30B23/02;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	C30B23/02
代理机构		代理人
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