| 发明名称 |
Verfahren zum Bilden eines Films auf einem Substrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10393678(T5) |
申请公布日期 |
2005.09.15 |
| 申请号 |
DE20031093678T |
申请日期 |
2003.11.07 |
| 申请人 |
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SAKAI, SHIGEKI |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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