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发明名称 TRANSPORTATION APPARATUS FOR USE IN CLEAN ROOM TO REDUCE INFLUENCE CAUSED BY TRANSPORTED MATERIAL OR PROCESS SURROUNDINGS
摘要
申请公布号 KR100516781(B1) 申请公布日期 2005.09.15
申请号 KR19980003256 申请日期 1998.02.05
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, GYEONG HO;KIM, DAE YEOL;LIM, GI HWAN;RYU, JAE JUN
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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