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发明名称 SCHMALBANDIGER EXCIMER-LASER MIT GASZUSATZ
摘要
申请公布号 DE69825609(T2) 申请公布日期 2005.09.15
申请号 DE19986025609T 申请日期 1998.09.25
申请人 CYMER, INC. 发明人 HOFMANN, THOMAS;ISHIHARA, TOSHIHIKO;DAS, P.;ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号 H01S3/038;G03F7/20;H01S3/02;H01S3/03;H01S3/034;H01S3/036;H01S3/08;H01S3/0971;H01S3/1055;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
主权项
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