| 发明名称 |
Beschichtungsbehandlungsvorrichtung und Beschichtungsbehandlungsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005007112(A1) |
申请公布日期 |
2005.09.15 |
| 申请号 |
DE200510007112 |
申请日期 |
2005.02.16 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
HAMADA MASAHITO;HIROTA FUMIO;KOBAYASHI SHINJI |
| 分类号 |
B05D1/40;B05C5/00;B05C11/00;B05C11/08;B05D3/12;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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