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发明名称
Micro-machined absolute pressure sensor
摘要
申请公布号
AU2001280660(B2)
申请公布日期
2005.09.15
申请号
AU20010280660
申请日期
2001.07.20
申请人
HOSPIRA, INC.
发明人
STEVE T. CHO
分类号
B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L009/00
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
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